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環保相關工程 > C.M.P. 中央Slurry供應系統

產品聯絡人／陳厚名
產品名稱：C.M.P. 中央Slurry供應系統

詳細說明：
中央Slurry供應系統主要依據C.M.P.製程所需要之各種製程的研磨液，依據特性作稀釋或分析後，以循環方式之管路設計，不斷使研磨液在管路內保持流動以避免研磨液之沈澱所造成的影響，以提供製程機台端生產時所需之研磨液之輸送系統。
用途：
依據C.M.P.各種製程的特性，作稀釋或性質分析後，供給製程機台端生產時所需之研磨液之輸送系統。
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規格：
1.Oxide Slurry Supply System：適用於Oxide Slurry製程之系統。
2.Tungsten Slurry Supply System：適用於Tungsten Slurry製程之系統。
3.Copper Slurry Supply System：適用於Copper Slurry製程之系統。
4.Matrology System：適用於slurry供應系統之精密監測系統。