Search
客戶服務
半導體產業相關
LCD產業相關
電子材料
光電產業相關
系統整合服務
環保相關工程
製程導引
LCD製程
半導體製程
化合物半導體製程




環保相關工程 > 特殊氣體供應系統

產品聯絡人／陳厚名
產品名稱：特殊氣體供應系統

詳細說明：
特殊氣體供應系統包含氣體供應來源之機台， 分歧閥箱及管路工程。 氣體系統之詳細之供應計畫包含有：氣體需求量，尺寸大小之計算及安全考量如毒性氣體之相關規定, 洩漏偵測及監控系統之架構等。
用途：
特殊氣體供應系統主要將特殊氣體有效且安全的供給製程機台端生產時所需之氣體之輸送系統。
%2desc2
%2desc3
%2desc4
規格：
1.Bulk Specialty Gas Supply (BSGS) –適用於使用量較大之特氣系統。
2.氣體供應機台 (GC), 閥箱 (VMB) –適用於可燃性及腐蝕性特氣之規劃。
3.Gas Racks (GR), 閥盤 (VMP) – 適用於鈍性氣體。